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Photo-Unix系列UPE膜滤芯

☑ 高过滤效率
☑ 优良的化学耐受性
☑ 优良的本征洁净度
☑ 低金属和有机物析出
☑ 100%的滤芯完整性测试

产品详情

迈博瑞Photo-Unix系列UPE滤芯具有非常宽的精度选择范围,从2nm到0.2μm。筒式滤芯具有优秀的过滤效率,洁净度以及化学耐受性以应对不同的SEMI光刻工艺应用。

UPE滤膜材料保证了滤芯具有高洁净度,低颗粒脱落以及污染物去除性能,从而提高了滤芯的过滤效率。此外,此款滤芯的膜面积大,可以提供高流速和长使用寿命。


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