☑ 高过滤效率☑ 优良的化学耐受性☑ 优良的本征洁净度☑ 低金属和有机物析出☑ 100%的滤芯完整性测试
迈博瑞Photo-Unix系列UPE滤芯具有非常宽的精度选择范围,从2nm到0.2μm。筒式滤芯具有优秀的过滤效率,洁净度以及化学耐受性以应对不同的SEMI光刻工艺应用。
UPE滤膜材料保证了滤芯具有高洁净度,低颗粒脱落以及污染物去除性能,从而提高了滤芯的过滤效率。此外,此款滤芯的膜面积大,可以提供高流速和长使用寿命。