迈博瑞 CMPro-M系列滤芯专为化 学机械 研磨 (chemical mechanical polishing，CMP）过滤而设计。有效去除各种CMP slurry中的团聚颗粒或胶体，同时保留有效研磨颗粒，保持slurry粒径分布不变。该系列产品采用先进的熔喷技术，制备出孔径渐变的深层聚丙烯滤材。滤材外层（upstream） 由渐变的粗纤维构成，有利于最大化纳污容量，延长滤芯使用寿命以及有效降低成本。滤材内层（downstream）由超细纤维构成，提供杰出的过滤效率，确保可靠的过滤效果。