迈博瑞CMPro-R系列滤芯由卷绕的聚丙烯膜制备而成，独特的梯度设计使其能够很好地应对化学机械研磨(chemical mechanical polishing，CMP）浆料过滤的挑战。锥形孔结构使CMPro-R在优秀的颗粒拦截效率和高纳污量之间实现了很好的平衡。它可以有效去除CMPslurry中具有破坏性的大颗粒，并且保持过滤前后有效颗粒粒径分布（PSD）保持不变。CMPro-R可满足多种不同的CMP应用场景，包括氧化物CMP，浅沟槽隔离CMP和金属配线CMP等。