迈博瑞CMPro-P系列滤芯由折叠的多层渐变聚丙烯膜和聚丙烯骨架组成。该系列是化学机械研磨(chemical mechanicalpolishing,CMP)液大颗粒和胶体去除的理想选择,尤其适用于氧化物、金属钨和金属铜CMP制程中所用的研磨液的过滤。可有效去除slurry中的团聚颗粒和胶体杂质。此外,CMPro-P滤芯采用的宽幅深层折叠设计大幅度提高了过滤面积和纳污容量,使其具备超低的压损和更长的使用寿命。