迈博瑞PoliCap系列囊式滤芯是专为空间受限的先进CMP应用而设计。纯PP材质、结构紧凑和抛弃式的特点使其具备低成本、方便更换的优点。从性能角度来说，囊式滤芯内部所含的熔喷或深层折叠滤材可以高效去除CMPslurry中造成划伤的颗粒或胶体，同时保留有效研磨颗粒，保持粒径分布（PSD）不变。滤材独特的结构设计确保相对低的压损、优秀的颗粒去除效率和较长的使用寿命。