☑ 纯PP材质,降低成本
☑ 抛弃式设计,方便更换并减少slurry暴露
☑ 低滞留体积,减少slurry浪费并防止其沉积◎提供多种滤材和接口选择
☑ 低压损和优秀的颗粒去除效率
☑ 高纳污量,较长的使用寿命
迈博瑞PoliCap-Plus系列是专为先进的CMP应用设计的囊式滤芯,尤其适用于含胶体SiO2、CeO2和超细Al2O3 研磨剂的CMPslurry。结构上来说,便捷的抛弃式设计可以实现快速安装,尽可能地减少slurry暴露和浪费。
PoliCap-Plus系列囊式滤芯可配合多种不同结构的滤材(melt-blown/rolled)及接口使用,满足不同应用需求。